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特色n 空间型旋转式和平板式原子层沉积工艺设备，有效应对钙钛矿电池研发、中试和量产 n 原子层沉积氧化锡工艺成熟，对钙钛矿层无损伤 n 镀膜速率高，氧化锡膜层均匀性好 n 兼容各种尺寸玻璃和硅片
特色：
n 旋转式和平板式两款原子层沉积工艺设备，有效应对钙钛矿电池研发、中试和量产
n 原子层沉积氧化锡工艺成熟，对钙钛矿层无损伤
n 镀膜速率高，氧化锡膜层均匀性好
n 兼容各种尺寸玻璃和硅片
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邮编：201620
